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基侑智凈,納米級蝕刻精度
讓晶圓回歸本源

全面實現半導體濕法清洗制程設備的國產替代

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基侑智凈
Wet Bench 單片機型

二流體刷洗設備,顆粒去除率95%以上

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應用領域
Application Area
Wet Bench 自動機型
Wet Bench 自動機型
應用領域
設備全自動化運行,上貨后選擇好制程配方,設備自動運行,結束后報警提示,人員取走貨物制程參數設置自由度...

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Wet Bench 半自動機型
Wet Bench 半自動機型
應用領域
前后運行式全罩防護密封空間,1個化學槽搭配1個QDR水槽為一個工藝模塊,依照工藝需求或潔凈室場地空間要求,...

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Wet Bench 單片機型
Wet Bench 單片機型
應用領域
全自動/半自動設備,根據客戶需求配置藥液可根據客戶工藝進行調整配置自動混液系統,比例自由調整高轉速中空...

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Wet Bench 化學品供應系統
Wet Bench 化學品供應系統
應用領域
CDU供液系統,主要配合自制設備使用具備液位檢測,空桶自動切換雙套管配置,防止漏液外流具備自動氣液分離功...

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Wet Bench 干燥設備
Wet Bench 干燥設備
應用領域
機型:cassette type / cassette less產品尺寸:4寸至8寸晶圓設備根據制程工藝自動運行顆粒度:cassette ty...

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EFEM & SORTER
EFEM & SORTER
應用領域
兼容OHT和AGV;② 可根據客戶需求配置1~4Load port;③ 潔凈等級符合 ISO Class 1標準;④ 結構緊湊 , 占地...

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產品中心
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about us
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2011
昆山基侑電子科技有限公司成立于2011年,總部位于江蘇省昆山市,在常州及臺灣擁有生產基地,廠房面積約10000㎡,是一家集國內外行業超15年技術優秀人才組成且專注于半導體濕法清洗設備設計制造的國家高新技術企業。公司通過GB/T19001-2016 idt ISO9001:2015 質量體系認證;設備通過SEMI S2、SEMI S6、SEMI F47半導體設備標準證書。公司以科技創新為核心驅動力,致力于為全球半導體產業鏈提供高精度制程設備和智能化解決方案。技術實力與創新1. 知識產權優勢:累計擁有60項專利技術和1項軟件著作權,涵蓋設備設計、制程優化等關鍵領域。2. 資質榮譽:連續獲評“國家高新技術企業”、“國家科技型中小企業”、“江蘇省專精特新中小企業”及入選“蘇州市瞪羚計劃入庫企業”,彰顯技術研發與合規經營的雙重優勢。3. 研發團隊:由半導體行業超15年技術優秀人才團隊,形成以市場為導向的產學研協同創新體系。

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