前后運行式全罩防護(hù)密封空間，1個化學(xué)槽搭配1個QDR水槽為一個工藝模塊，依照工藝需求或潔凈室場地空間要求，可客制化實現(xiàn)多模塊功能設(shè)備全自動化運行，上貨后選擇好制程配方，設(shè)備自動運行，結(jié)束后報警提示，人員取走貨物

制程參數(shù)設(shè)置自由度高，可根據(jù)產(chǎn)品型號自由調(diào)整設(shè)備運行參數(shù)

控溫精度±1℃

全自動混酸配液系統(tǒng)，可根據(jù)產(chǎn)品型號自由調(diào)整參數(shù)比例，

依客戶需求定制濃度監(jiān)測等功能，根據(jù)設(shè)定值自動補液

自動補液系統(tǒng)：可根據(jù)產(chǎn)品批次、換液時間等進(jìn)行補液，補液精度最小量0.1ml

顆粒控制：最高0.2μm≤20顆