兼容OHT和AGV；② 可根據客戶需求配置1~4Load port；③ 潔凈等級符合 ISO Class 1標準；④ 結構緊湊 ， 占地面積小；⑤ 模塊化設計 ，維護成本低；⑥ 滿足SEMI S2、 SEMI S8標準；⑦ 兼容8寸＆12寸晶圓；⑧ 可根據需求配置Load port或者SMIF⑨ 兼容100μm~775μm晶圓 ， 可根據客 戶需求配置真空EE、 伯努利EE和夾持式 EE；

機型：cassette type / cassette less產品尺寸：4寸至8寸晶圓設備根據制程工藝自動運行顆粒度：cassette type 0.2μm≤20顆；cassette less 0.16μm≤20顆

CDU供液系統，主要配合自制設備使用具備液位檢測，空桶自動切換雙套管配置，防止漏液外流具備自動氣液分離功能

全自動/半自動設備，根據客戶需求配置藥液可根據客戶工藝進行調整配置自動混液系統，比例自由調整高轉速中空電機，使產品運行平穩滿足所有尺寸的產品可兼容鐵環和塑料環