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基侑智凈,納米級(jí)蝕刻精度
讓晶圓回歸本源

全面實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體濕法清洗制程設(shè)備的國產(chǎn)替代

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基侑智凈
Wet Bench 單片機(jī)型

二流體刷洗設(shè)備,顆粒去除率95%以上

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應(yīng)用領(lǐng)域
Application Area
Wet Bench 自動(dòng)機(jī)型
Wet Bench 自動(dòng)機(jī)型
應(yīng)用領(lǐng)域
設(shè)備全自動(dòng)化運(yùn)行,上貨后選擇好制程配方,設(shè)備自動(dòng)運(yùn)行,結(jié)束后報(bào)警提示,人員取走貨物制程參數(shù)設(shè)置自由度...

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Wet Bench 半自動(dòng)機(jī)型
Wet Bench 半自動(dòng)機(jī)型
應(yīng)用領(lǐng)域
前后運(yùn)行式全罩防護(hù)密封空間,1個(gè)化學(xué)槽搭配1個(gè)QDR水槽為一個(gè)工藝模塊,依照工藝需求或潔凈室場(chǎng)地空間要求,...

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Wet Bench 單片機(jī)型
Wet Bench 單片機(jī)型
應(yīng)用領(lǐng)域
全自動(dòng)/半自動(dòng)設(shè)備,根據(jù)客戶需求配置藥液可根據(jù)客戶工藝進(jìn)行調(diào)整配置自動(dòng)混液系統(tǒng),比例自由調(diào)整高轉(zhuǎn)速中空...

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Wet Bench 化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)
Wet Bench 化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)
應(yīng)用領(lǐng)域
CDU供液系統(tǒng),主要配合自制設(shè)備使用具備液位檢測(cè),空桶自動(dòng)切換雙套管配置,防止漏液外流具備自動(dòng)氣液分離功...

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Wet Bench 干燥設(shè)備
Wet Bench 干燥設(shè)備
應(yīng)用領(lǐng)域
機(jī)型:cassette type / cassette less產(chǎn)品尺寸:4寸至8寸晶圓設(shè)備根據(jù)制程工藝自動(dòng)運(yùn)行顆粒度:cassette ty...

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EFEM & SORTER
EFEM & SORTER
應(yīng)用領(lǐng)域
兼容OHT和AGV;② 可根據(jù)客戶需求配置1~4Load port;③ 潔凈等級(jí)符合 ISO Class 1標(biāo)準(zhǔn);④ 結(jié)構(gòu)緊湊 , 占地...

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產(chǎn)品中心
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關(guān)于基侑
about us
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2011
昆山基侑電子科技有限公司成立于2011年,總部位于江蘇省昆山市,在常州及臺(tái)灣擁有生產(chǎn)基地,廠房面積約10000㎡,是一家集國內(nèi)外行業(yè)超15年技術(shù)優(yōu)秀人才組成且專注于半導(dǎo)體濕法清洗設(shè)備設(shè)計(jì)制造的國家高新技術(shù)企業(yè)。公司通過GB/T19001-2016 idt ISO9001:2015 質(zhì)量體系認(rèn)證;設(shè)備通過SEMI S2、SEMI S6、SEMI F47半導(dǎo)體設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)證書。公司以科技創(chuàng)新為核心驅(qū)動(dòng)力,致力于為全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈提供高精度制程設(shè)備和智能化解決方案。技術(shù)實(shí)力與創(chuàng)新1. 知識(shí)產(chǎn)權(quán)優(yōu)勢(shì):累計(jì)擁有60項(xiàng)專利技術(shù)和1項(xiàng)軟件著作權(quán),涵蓋設(shè)備設(shè)計(jì)、制程優(yōu)化等關(guān)鍵領(lǐng)域。2. 資質(zhì)榮譽(yù):連續(xù)獲評(píng)“國家高新技術(shù)企業(yè)”、“國家科技型中小企業(yè)”、“江蘇省專精特新中小企業(yè)”及入選“蘇州市瞪羚計(jì)劃入庫企業(yè)”,彰顯技術(shù)研發(fā)與合規(guī)經(jīng)營的雙重優(yōu)勢(shì)。3. 研發(fā)團(tuán)隊(duì):由半導(dǎo)體行業(yè)超15年技術(shù)優(yōu)秀人才團(tuán)隊(duì),形成以市場(chǎng)為導(dǎo)向的產(chǎn)學(xué)研協(xié)同創(chuàng)新體系。

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