前后運(yùn)行式全罩防護(hù)密封空間，1個(gè)化學(xué)槽搭配1個(gè)QDR水槽為一個(gè)工藝模塊，依照工藝需求或潔凈室場(chǎng)地空間要求，可客制化實(shí)現(xiàn)多模塊功能設(shè)備全自動(dòng)化運(yùn)行，上貨后選擇好制程配方，設(shè)備自動(dòng)運(yùn)行，結(jié)束后報(bào)警提示，人員取走貨物

制程參數(shù)設(shè)置自由度高，可根據(jù)產(chǎn)品型號(hào)自由調(diào)整設(shè)備運(yùn)行參數(shù)

控溫精度±1℃

全自動(dòng)混酸配液系統(tǒng)，可根據(jù)產(chǎn)品型號(hào)自由調(diào)整參數(shù)比例，

依客戶(hù)需求定制濃度監(jiān)測(cè)等功能，根據(jù)設(shè)定值自動(dòng)補(bǔ)液

自動(dòng)補(bǔ)液系統(tǒng)：可根據(jù)產(chǎn)品批次、換液時(shí)間等進(jìn)行補(bǔ)液，補(bǔ)液精度最小量0.1ml

顆?？刂疲鹤罡?.2μm≤20顆