① 兼容OHT和AGV；

② 可根據客戶需求配置1~4Load port；

③ 潔凈等級符合 ISO Class 1標準；

④ 結構緊湊 ， 占地面積小；

⑤ 模塊化設計 ，維護成本低；

⑥ 滿足SEMI S2、 SEMI S8標準；

⑦ 兼容8寸＆12寸晶圓；

⑧ 可根據需求配置Load port或者SMIF

⑨ 兼容100μm~775μm晶圓 ， 可根據客 戶需求配置真空EE、 伯努利EE和夾持式 EE；

⑩ 可根據客戶需求配置EE翻轉功能。