設備全自動化運行，上貨后選擇好制程配方，設備自動運行，結束后報警提示，人員取走貨物

制程參數設置自由度高，可根據產品型號自由調整設備運行參數

控溫精度±1℃

全自動混酸配液系統，可根據產品型號自由調整參數比例，

依客戶需求定制濃度監測等功能，根據設定值自動補液

自動補液系統：可根據產品批次、換液時間等進行補液，補液精度最小量0.1ml

設備內部設有倒片機構及PP Cassette傳輸天車

顆粒控制：最高0.16μm≤20顆