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化學藥品供應系統

化學供應系統

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光罩/光刻版清洗機Mask Cleaner

光罩清洗機

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設備應用9imch以下光刻版尺寸清洗制程； 觸控人機搭配PLC的軟件控制，對各制程步驟進行參數控制； 使用無刷式馬達控制系統，轉速最高可達3000rpm，轉速精度2rpm； 化學品擺臂清洗系統； HVS擺臂清洗系統； DI Water正/背面清洗系統； 高轉速旋干系統;
晶圓旋干機Spin Rinse Dryer

晶圓旋干機

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設備應用8imch以下晶圓尺寸旋干制程； 觸控人機搭配PLC的軟件控制對旋干步驟進行程序化控制； 使用無刷式馬達控制系統，轉速最高可達3000rpm，振動值控制350um以下； DI Water清洗輔助系統； Hot N2干燥輔助系統
半自動有機溶劑清洗機

半自動有機溶劑清洗機

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前后槽位布局模塊設計，一套模塊由2個制程槽位結合 機臺材質為不銹鋼鏡面鈑金,全罩防護式焊接組裝。 設備應用濕法制程有機溶劑清洗，觸控人機或PC界面搭配PLC的軟件控制，由機械手臂180度旋轉設計執行槽位間的晶圓輸送，依制程需求或場地需求，配置多款制程槽位模塊，提高產能輸出，生產流程更有效率管控，各種安全防護標準設計，針對設備與人員的各種危險隱憂提高保護措施。
半自動酸堿蝕刻清洗機

半自動酸堿蝕刻清洗機

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前后槽位布局模塊設計，一套模塊由2個制程槽位結合 機臺材質為塑材PP/PVC,全罩防護式焊接組裝。 設備應用濕法制程酸堿蝕刻清洗，觸控人機或PC界面搭配PLC的軟件控制，由機械手臂180度旋轉設計執行槽位間的晶圓輸送，依制程需求或場地需求，配置多款制程槽位模塊，提高產能輸出，生產流程更有效率管控，各種安全防護標準設計，針對設備與人員的各種危險隱憂提高保護措施。
全自動有機溶劑清洗機

全自動有機溶劑清洗機

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橫向隧道型槽位布局設計，依序為上貨區>>制程區>>下貨區 機臺材質為不銹鋼鏡面鈑金,全罩防護式焊接組裝。 設備應用濕法制程有機溶劑清洗，PC搭配PLC的軟件控制，由機械手臂執行各槽位站點的晶圓輸送，各制程槽的參數執行，提高產能輸出，生產流程更有效率管控，各種安全防護標準設計，針對設備與人員的各種危險隱憂提高保護措施。
全自動酸堿蝕刻清洗機

全自動酸堿蝕刻清洗機

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橫向隧道型槽位布局設計，依序為上貨區>>制程區>>下貨區 機臺材質為塑材PP/PVC,全罩防護式焊接組裝 設備應用濕法制程酸堿蝕刻清洗，PC搭配PLC的軟件控制，由機械手臂執行各槽位站點的晶圓輸送，各制程槽的參數執行，提高產能輸出，生產流程更有效率管控，各種安全防護標準設計，針對設備與人員的各種危險隱憂提高保護措施。
Wet Bench其它機型

化學清洗機

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Wet Bench手動機型

化學清洗機

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Wet Bench半自動機型

化學清洗機

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Wet Bench自動機型

化學清洗機

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