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設備應用9imch以下光刻版尺寸清洗制程；
觸控人機搭配PLC的軟件控制，對各制程步驟進行參數控制；
使用無刷式馬達控制系統，轉速最高可達3000rpm，轉速精度2rpm；
化學品擺臂清洗系統；
HVS擺臂清洗系統；
DI Water正/背面清洗系統；
高轉速旋干系統;