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前后槽位布局模塊設計，一套模塊由2個制程槽位結合

機臺材質為不銹鋼鏡面鈑金,全罩防護式焊接組裝。

設備應用濕法制程有機溶劑清洗，觸控人機或PC界面搭配PLC的軟件控制，由機械手臂180度旋轉設計執行槽位間的晶圓輸送，依制程需求或場地需求，配置多款制程槽位模塊，提高產能輸出，生產流程更有效率管控，各種安全防護標準設計，針對設備與人員的各種危險隱憂提高保護措施。